专利名称：一种晶硅太阳能电池叠层钝化的方法专利类型：发明专利发明人：李士会
申请号：CN201310108913.0申请日：20130401公开号：CN104091853A公开日：20141008
摘要：本发明提供了一种实现晶体硅太阳能电池叠层钝化的方法。所述方法包括如下步骤：选用P型太阳能级硅片作为衬底；利用氢氟酸和硝酸混合溶液进行制绒；磷扩散；刻蚀去边；去除磷硅玻璃；利用混酸溶液对硅片进行氧化；利用PECVD制备减反射膜。该方法通过湿法氧化生长二氧化硅和PECVD生长氮化硅的方法，实现了叠层钝化。
申请人：北京中科信电子装备有限公司
地址：101111 北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号
国籍：CN
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