（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201410668341.6 （22）申请日 2014.11.20
（71）申请人 中国航空工业第六一八研究所
地址 710065 陕西省西安市雁塔区电子一路92号
（10）申请公布号 CN105606036A
（43）申请公布日 2016.05.25
（72）发明人 王鑫;高玫;付冠军 （74）专利代理机构 中国航空专利中心
代理人 杜永保
（51）Int.CI
G01B11/24;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种基于表面形貌数据的面形偏差检验方法
（57）摘要
本发明属于面形偏差评价技术领域，涉及
一种基于表面形貌数据的面形偏差评价方法。针对激光陀螺平面反射镜基片的高精度面形偏差测量，使用数字激光干涉仪和Matlab进行面形偏差参数的测量研究，实现了基于表面形貌数据的光学零件面形偏差自动判读评价方法。
法律状态
法律状态公告日
2016-05-25 2016-05-25 2016-06-22 2016-06-22 2018-07-06
公开 公开
法律状态信息
公开 公开
法律状态
实质审查的生效 实质审查的生效 授权
实质审查的生效 实质审查的生效 授权
权利要求说明书
一种基于表面形貌数据的面形偏差检验方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
一种基于表面形貌数据的面形偏差检验方法的说明书内容是....请下载后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容