光刻机纳米 什么意思,是光的波长还是产品线条宽度?
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发布时间：2022-04-23 09:42
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时间：2022-05-06 05:20
光刻纳米机中的”纳米“指的是产品线条宽度（工艺尺寸）。即光刻机加工的芯片线路尺寸可以达到纳米量级，即10^(-19)m，如CPU中的 5nm工艺、7nm工艺和14nm工艺。而光的频率一般在几百纳米，如可见光的波长范围一般在400nm~700nm。
